标签：化学传感器

Nano-Micro Letters 发布于 2018-04-09

【引言】近十年以来，基于压阻信号读出的微型机电系统（MEMS）SU-8聚合物悬臂传感以及分子识别技术得到快速发展，在化学和生物传感等领域已经得到广泛的应用。SU-8的弹性模量较低，相比于传统基于固相半导体的压阻式悬臂梁传感器系统，SU-8聚合物悬臂梁具有灵敏性好、材料和制备成本低...

阅读(4351)赞 (1)标签：SU-8聚合物 / 化学传感器 / 微型压阻式传感器 / 悬臂梁传感器 / 生物传感器 / 表面应力